定量・定流量性能重視
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- ACサーボ駆動CT/PT/HTポンプ
- ●均一な薄膜塗布が要求される液晶、PDP、有機EL等のスリットコーターに対応する電動ポンプ。高信頼の構造をさらに進化させて定流量性制御が可能。
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- 電動高耐圧ポンプF-EPH
- ・高精度定量吐出性能と高精度定流量性能に高耐圧をプラスしました。脈動の少ないレジスト塗布が可能です。スリット塗布に最適な性能を実現しました。
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- 電動RTポンプ
- ●新開発のRT構造を採用し、チューブフラムでありながら高い応答性を実現したポンプ。使用流体:フォトレジスト、純水、薬液(可燃性物質不可)
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- エンドレスポンプ
- スリットノズルで長いフィルムに連続的に塗布する用途や、多くの容器にハイサイクルかつ高い精度で充填する用途に最適です。
カテゴリ | category
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iB-Dent カタログiB-ZERO カタログiB-Move カタログiB-Flow カタログiB-Flow フローセレクタ カタログiB-Cyclone カタログiB-Cyclone負圧用 カタログ
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フレキシブル対応シリンダ カタログジグシリンダCシリーズストローク調節タイプ カタログジグシリンダCシリーズ低摩擦シリンダ カタログツインポートシリンダ カタログスイングシリンダ カタログツイストシリンダ カタログ真空パッド搭載マルチマウントシリンダ カタログ
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ミニガイドテーブル カタログZスライダ カタログアクシスシリンダ カタログ
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スリット式 ORV カタログスリット式 ORC10 カタログスリット式 ORCA カタログスリット式カムフォロアガイド付 ORK カタログスリット式ガイド付 ORGA カタログスリット式 ORC63、80 カタログスリット式リニアガイド付 ORS カタログスリット式リニアガイド付 ORW カタログマグネット式 フラットロッドレス MRV カタログマグネット式 MRC カタログマグネット式ガイド付 MRG カタログガイド一体形マグネット式 MRB カタログマグネット式リニアガイド付 MRS カタログマグネット式リニアガイド付 MRW カタログミニガイドテーブル カタログAPテーブル カタログ
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リニアガイド付パラレルタイプ ハンドボーイ カタログリニアガイド付パラレルタイプ NHBDPGL カタログ180度開閉タイプNHBDSL カタログガイド付180度開閉タイプNHBDSLG カタログリニアガイド付 Lハンド カタログワイド形エアハンドWHDP カタログリニアガイド付 メカ駆動ハンド カタログパラレルタイプ・リニアガイド仕様メカハンド フィンガ付 カタログパラレルタイプ・リニアガイド仕様メカハンド ゴムカバー付 カタログパラレルタイプ・リニアガイド仕様メカハンド ロングストローク カタログコンプライアンス ライト カタログ
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ピストンタイプ RAP カタログピストンタイプテーブル形 RAT カタログピストンタイプテーブル形 フラットロータリ カタログベーンタイプテーブル形 RAG カタログインデックステーブル形 RWT カタログスイングシリンダ カタログツイストシリンダ カタログ高速バルパックシリンダ カタログ
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