定量性能重視
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- 空気圧ベローズポンプ
- ●エアシリンダ駆動のローコスト、低価格なベローズポンプ。使用流体：フォトレジスト、純水、薬液（可燃性物質不可）
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- 空気圧PTポンプ
- ●独自の８の字形状のチューブと、ペローズを組み合わせた構造を採用。摺動部がない為、ポンプ作動によるパーティクルの発生がほとんどありません。
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- 電動ベローズポンプ
- ●制御のしやすいステッピングモータを使用したベローズポンプ。使用流体：フォトレジスト、純水、薬液（可燃性物質不可）
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- 電動ＣＴポンプ
- ●微細化する半導体ウェハに対応する次世代電動ポンプ、定量吐出ポンプです。世界初(注)のCTポンプ構造を開発、低発塵、泡抜けの良さ、シンプル構造で高精度を実現しました。
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- 電動PTポンプ
- ●独自の８の字形状のチューブと、ペローズを組み合わせた構造を採用。摺動部がない為、ポンプ作動によるパーティクルの発生がほとんどありません。
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- ツインポンプ
- ●当社独自形状のチューブとベローズの組合せを２連にセットしたツインポンプ構造を採用。
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